English
УЧРЕЖДЕНИЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РАН (ИПТМ РАН), УЧРЕЖДЕНИЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК ИНСТИТУТ КРИСТАЛЛОГРАФИИ им. А.В.Шубникова РАН (ИК РАН), при участии ООО "Форум-СМ".
Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов РАН - 2010 Last updated: 18.06.10