УЧРЕЖДЕНИЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК 
ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ  МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ 
И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РАН  (ИПТМ РАН),

УЧРЕЖДЕНИЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК 
ИНСТИТУТ КРИСТАЛЛОГРАФИИ им. А.В.Шубникова РАН (ИК РАН),   

при участии ООО "Форум-СМ".